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核心組成部分

公用工程模塊

超純水/注射水（UPW/WFI）供應

高純度氮氣/氫氣發(fā)生器

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概述

● 超純水/注射水（UPW/WFI）供應

采用EDI+多效蒸餾工藝，配備臭氧循環(huán)滅菌與紫外消毒模塊，符合USP<645>/EP 2.2.45標準，適用生物制藥、半導體清洗等超純工藝需求。

● 高純度氣體供應系統(tǒng)

配置PSA氮氣發(fā)生器與電解氫氣系統(tǒng)，壓力范圍可調(diào)節(jié)，流量穩(wěn)定；內(nèi)置脫氧催化劑與顆粒過濾器，滿足氫化反應、惰性保護等嚴苛工況。

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